Kalibrieren von Vakuummessgeräten

Die Wiederholbarkeit von Prozessen in der Vakuumtechnik erfordert die Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Druckmessung. Diese kann nur auf der Grundlage von korrekt eingestellten Vakuummessgeräten erfolgen.

Die Druschke GmbH bietet die Kalibrierung von Vakuummessröhren unabhängig vom Hersteller an. Zur Erstellung der Kalibrierzertifikate werden entsprechende Eichnormale als Referenz benutzt, welche durch die Deutsche Akkreditierstelle DAkk) akkreditiert sind. Somit ist die Rückführbarkeit auf nationale Standards gewährleistet.

Zusätzlich bietet die Druschke GmbH einen Vor-Ort Abgleich von Vakuummessröhren an.

Vakuummessröhren folgender Hersteller können kalibriert werden: 

Inficon, Oerlikon Leybold, Pfeiffer Vacuum, MKS, Edwards

Vakuummessröhren im Überblick:

• Pirani-Messröhre
• Kaltkathoden-Transmitter
• Pirani Transmitter
• Pirani/Bayard-Alpert-Transmitte
• Heißkathoden-Transmitter
• Pirani/Kapazitiv-Transmitter
• Kapazitive Transmitter
• Piezo-Transmitter
• Piezo-respektiver Transmitter
• THERMOVAC-Transmitter
• CERAVAC-Transmitter
• Penningvac-Transmitter 
• IONIVAC-Combi-Transmitter

Kalibrieren oder Prüfen von Messzellen

Was ist der Unterschied zwischen der Kalibrierung und Prüfen/Abgleich einer Messzelle?

Bei der Kalibrierung wird die Abweichung des Messwerts vom realen Druckwert ermittelt und kann durch entsprechende Steuerungsmaßnahmen korrigiert werden.

Die Kalibriermessdaten werden aufgenommen und zusammen mit dem Kalibrierzertifikat dokumentiert. Die Rückführung auf nationale Normale ist anhand dieser Dokumentation gegeben.

Mit einer kalibrierten Messzelle können weitere Messzellen überprüft werden.

Bei der Prüfung/Abgleich wird über den gesamten Anzeigebereich des Messsensors überprüft, ob der Fehler innerhalb der Toleranzangaben des Herstellers liegt und mit einem Prüfzeichen bestätigt.

Warum soll ich meine Messzelle kalibrieren lassen, eine einfache Prüfung reicht doch auch, oder?

Messzellen in Prozessanlagen sind notwendig, um einen sicheren und reproduzierbaren, kontrollierten Prozess im Vakuum durchzuführen. Allerdings führt der ständige Betrieb in der Prozesskammer auch zu einer zunehmenden Verschmutzung des Messsensors, was wiederum merkbare Auswirkungen auf den Messwert zeigt. Abhängig vom Prozess und der dabei auftretenden Verschmutzung kann der Sensor nun zu wenig Druck oder zu viel Druck anzeigen, beide Fälle sind nachteilig für die Produktion:

1. Messsensor zeigt einen zu niedrigen Druck an: Prozessschritte werden bei möglicherweise zu hohen Drücken gestartet, wodurch es zu erhöhtem Ausschuss kommt.
2. Messsensor zeigt einen zu hohen Druck an: Prozessschritte starten deutlich später als es möglich wäre, die Prozesszeiten steigen unnötigerweise an. Im schlimmsten Fall bricht der gesamte Prozess nach Durchlaufen einer Maximalwartezeit ab.

Meine Messzelle ist kalibriert worden, d.h. doch, sie zeigt jetzt ganz genau an, oder nicht?

Nein, der Druckwert, den eine Messzelle liefert, kann auch durch eine Kalibrierung nicht genau eingestellt werden. Die Kalibrierung ermittelt die Abweichung der Messzelle vom realen Messwert, die Anzeige kann dann durch eine geeignete Steuerung korrigiert werden (Einstellungen im Anzeigegerät der Messzelle).

Wie oft sollte ich meine Messzelle kalibrieren lassen?

Das ist abhängig vom Prozess, der auftretenden Verschmutzung und der Fehlertoleranz des Vakuumprozesses. Im Allgemeinen wird die Kalibrierung einer Messzelle wenigstens jährlich wiederholt.